ISO 14644-1：

這國際標準，訂定了不同類型的無塵室及其對應的清淨度等級。這些等級以數字代表，如ISO 5~ISO 9等。數字越小，代表無塵室的潔凈程度越高。

＊該標準包含了空氣中固體微粒的容許限制。